芯片、液晶顯示器制造用干式真空泵
- 來源:
- 青島仲尼機械有限公司
- 日期:
- 2022年11月24日
芯片、液晶顯示器制造用干式真空泵
干式螺桿真空泵工作原理主要是利用齒輪傳動同步反向旋轉的相互嚙合而不接觸的 左螺桿與右螺桿作高速轉動,利用泵殼和相互嚙合的螺旋槳螺旋槽分割成多個空間、形成 多個級,氣體在相等的各個槽內進行傳輸運動,
無壓縮,只有螺桿末端的螺旋結構才對 氣體有壓縮的作用。螺桿的各級間可形成壓力梯度,以分散壓差和提高壓縮比,各部間隙 和泵轉速對泵的性能有很大影響。
在設計螺桿各部的間隙時,要考慮膨脹、加工及裝配精 度和工作環境等。干式螺桿真空泵與羅茨真空泵一樣不設排氣閥。
干式螺桿真空泵工作原理主要是利用齒輪傳動同步反向旋轉的相互嚙合而不接觸的 左螺桿與右螺桿作高速轉動,利用泵殼和相互嚙合的螺旋槳螺旋槽分割成多個空間、形成 多個級,氣體在相等的各個槽內進行傳輸運動,
無壓縮,只有螺桿末端的螺旋結構才對 氣體有壓縮的作用。螺桿的各級間可形成壓力梯度,以分散壓差和提高壓縮比,各部間隙 和泵轉速對泵的性能有很大影響。
在設計螺桿各部的間隙時,要考慮膨脹、加工及裝配精 度和工作環境等。干式螺桿真空泵與羅茨真空泵一樣不設排氣閥。